Setra 217 型压力变送器专为模块式“Block”气体棒和面板设计,非常适合恶劣环境(例如冷气流导致的温度瞬变)下的压力测量应用。
217 型压力变送器可选带C 型或W 型密封的朝下安装的压力端口,带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L不锈钢制造,且表面钝化抛光至5 Ra( 最大7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。每个传感器都采用质谱仪进行了1 x 10-9 ATM.CC/sec 级别的氦渗漏试验。
Setra 所有的超高纯系列产品都基于Setra 成熟的电容传感技术制造,能提供几乎不受EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。
■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·出色的稳定性,避免停机
·可选带C 型或W 型密封的压力端口
·抗电磁干扰/ 射频干扰,可防止误停机
·易于吹扫
·符合CE 和RoHS 标准要求
应用
·模块式“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
性能参数
物理参数
精度RSS(恒温下)
±0.25%FS或±1.0%读数
壳体
不锈钢
非线性(最佳拟合直线)
±0.15%FS
电气连接
6英尺多芯电缆、卡口或D-SUB接头
迟滞
0.20%FS
压力接口
朝下安装的C型或W型密封
非重复性
0.02%FS
通气
零点盒满量程处的检修孔
电气参数(电流)
重量
约184g
电路
2线
电气参数(电压)
输出6
4~20mA2
电路
3线(COM,OUT,EXC)
外部负载
0~800Ω
输出4
0~5VDC或0.2~5.2VDC5
0~10VDC或0.2~10.2VDC5
最小供电电压(VDC)
10+0.02x(接收器附加导线电阻)
激励
5VFSO(满量程输出)时为10~30VDC
10VFSO(满量程输出)时为13~30VDC
最大供电电压(VDC)
30+0.004X(接收器附加导线电阻)
电流消耗
<8mA
温度影响2
环境参数
压力介质
温度补偿范围
-9~65℃
工作温度3
-40℃~+85℃
与316L不锈钢兼容的气体或液体的
零点/满程漂移
1.8%(%FS/50℃)
存放温度
-40℃~+85℃
1. 非线性、迟滞、非重复性的方和根
2. 产品在21℃进行标定,最大温度影响误差由此数据得来
3. 仅限电子元件的工作温度限制,压力介质的温度可能明显较高或较低
4. 采用50KΩ负载进行标定,可在负载≥5K时工作
5. 零点(满量程)输出:对于5VDC输出,出厂设置在±25mA以内;对于10VDC输出,出厂设置在±50mV以内
6. 出厂标定时采用250Ω负载,负载24VDC电源
零点(满量程)输出:出厂设置在±0.08mA以内