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日本HORIBA STEC-N112MGM SEN-114MGM气体质量流量控制器

日本HORIBA STEC-N112MGM SEN-114MGM气体质量流量控制器

所属分类:日本HORIBA堀场
浏览次数:
时间:2018-1-18 13:02:51
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概要
基于多年来引领尖端技术产品的市场发展经验,我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。 
气体被广泛地运用于各种工业领域,从太阳能电池、燃料电池的研究和制造,这一获得巨大关注的再生能源项目得到了全球各地的支持;到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管(LED)的研究和制造。在这些制造工艺中,对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率,进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展,为一流的制造工艺,包括半导体、光电和LED的制造提供服务,并将继续开发新的产品来满足客户的需求
特征
HORIBA STEC可以提供满足您需求的全套产品。
型号 选择信号传输模式 选择电源
SEC-N102系列 数字式信号传输
▶RS485 F-NET协议
模拟式信号传输
▶0~5VDC
±15VDC (±5%)
HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的电源产品。
SEC-N104系列 DeviceNet信号传输 遵照ODVA标准
SEC-N106系列 PROFIBUS信号传输
模拟式信号传输
▶0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA
遵照PROFIBUS标准
24VDC(13 to 32VDC)

此型号适合各种小流量到大流量的需要。
流量控制范围为标定满量程的2~100%


高精度
■高精度(设定点为基准)MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高,各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

整个流量控制范围内都可实现高响应速度  
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response新的可变PID运算法则:1秒高速响应 SEC-N100 系列搭载了新开发的“可变PID系统”,对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时,可变PID将根据当下的设定点不断变化,其PID参数也将随之被优化。 

多气体、多量程的解决方案
■专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力 新的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。      
     
致力于成本考量,运用新的设计概念
作为N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具备超洁净处理以及压电陶瓷阀门的Z500系列产品。请注意,在没有通知的情况下,可能会对某些需要提高生产率的部件和产品工艺做出修改,但不会牵涉到改变产品的规格。 
产品相关图及其它