概要
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
1.适用于高温：可满足150℃烘焙
2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
3.超清洁类型：接气部全不锈钢构造
4.适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
規格
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SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80〜100℃
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SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100〜120℃
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SEC-8440LSL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15〜35℃
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SEC-8450LSL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15〜35℃
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SEC-8455LSL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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30/50 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15〜35℃
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SEC-8460LSL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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50/100 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：15〜35℃
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SEC-8440LSM
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35〜60℃
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SEC-8450LSM
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35〜60℃
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SEC-8455LSM
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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30/50 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35〜60℃
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SEC-8460LSM
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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50/100 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：35〜60℃
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SEC-8440LSH
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60〜80℃
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SEC-8450LSH
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60〜80℃
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SEC-8455LSH
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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30/50 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60〜80℃
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SEC-8460LSH
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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50/100 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：60〜80℃
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SEC-8440SL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80〜100℃
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SEC-8450SL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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3/5/10 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80〜100℃
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SEC-8455SL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80〜100℃
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SEC-8460SL
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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20/30/50 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：80〜100℃
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SEC-8440SM
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100〜120℃
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|
SEC-8450SM
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气体接触部材质
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SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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3/5/10 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100〜120℃
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|
SEC-8455SM
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气体接触部材质
|
SUS-316L
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阀门类型
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NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范围
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2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100〜120℃
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|
SEC-8460SM
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气体接触部材质
|
SUS-316L
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阀门类型
|
NO: 非通电时：开
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标准流量量程
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20/30/50 SLM
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流量控制范围
|
2〜100％ F.S.(满量程)
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流量精度
|
±1.0％ F.S.(满量程) 使用温度：100〜120℃
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